精密气浮工作台动态特性仿真与优化

doi:10.3969/jissn1001-3881201702006

首页 > 过刊浏览>2017年第45卷第2期 >20-24. DOI:10.3969/jissn1001-3881201702006

精密气浮工作台动态特性仿真与优化
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                        10.3969/jissn1001-3881201702006
                    
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Simulation and Dynamic Characteristic Optimization of the Ultraprecision Stage with Airbearing

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为提高精密气浮工作台的工作性能，在分析气浮轴承承载特性的基础上，对气浮工作台进行多体动力学建模与仿真。参数化多体动力学模型，创建模型的设计变量与目标变量，编写目标变量评价程序，使用Isight集成了优化仿真模型，优化了设计变量，提高了工作台的稳定性，缩短了工作台的收敛时间。优化结果表明：对工作台的优化设计改善了工作台的稳定性，减小了工作台在步进扫描过程中的收敛时间与振幅。

Abstract:

Simulation and Dynamic Characteristic Optimization of the Ultraprecision Stage with Airbearing

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文明,姚勇,何康昊,陈华明,杨雷,邓立,李佩龙,姜飞.精密气浮工作台动态特性仿真与优化[J].机床与液压,2017,45(2):20-24.
. Simulation and Dynamic Characteristic Optimization of the Ultraprecision Stage with Airbearing[J]. Machine Tool & Hydraulics,2017,45(2):20-24

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收稿日期:2015-12-19
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在线发布日期: 2017-05-09
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