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光学微结构超精密多轴铣削加工技术
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广东省微纳加工技术与装备重点实验室资助项目(201001G0104781202);广东省教育厅产学研合作专项资金资助项目(2060403)


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    摘要:

    采用单点金刚石飞刀加工可以直接加工出具有纳米级的表面粗糙度和亚微米级形状精度的光学微结构元件而不需要后续处理。通过超精密飞刀加工微V沟槽的实验,分析了主轴转速、进给速度、切削深度和切削行间距对微V沟槽加工精度的影响,并对切削参数进行优化。最后,利用优化后的切削参数加工出微V沟槽结构。实验结果显示,超精密飞刀加工微V沟槽可达到满足光学微结构加工精度的要求。

    Abstract:

    Fly-cutting with single crystal diamond cutting tool was used for the fabrication of optical microstructure components with nano-surface finish and sub-micron form accuracy without the need for any subsequent post polishing. By experimental fabrication of micro V-groove in ultra precision fly-cutting, the effects of the spindle speed, feed rate, cut depth and cut distance factors affecting machining accuracy of micro V-groove were analyzed, and the cutting parameters were optimized. A micro V-groove array was processed with using of optimized cutting parameters. The experimental results show that the machining of V-groove structures in ultra-precision fly-cutting meets the requirement of the optical microstructure.

    参考文献
    相似文献
    引证文献
引用本文

焦洋洋,王素娟,刘强.光学微结构超精密多轴铣削加工技术[J].机床与液压,2014,42(13):28-31.
.[J]. Machine Tool & Hydraulics,2014,42(13):28-31

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  • 在线发布日期: 2015-01-28
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